3月6日，由浙江大學(xué)承擔(dān)的浙江省重大科技專項(xiàng)“全自動(dòng)大規(guī)模集成電路單晶硅生長爐關(guān)鍵技術(shù)的研究與開發(fā)”項(xiàng)目，通過了由浙江省科技廳組織的專家組的驗(yàn)收。此前，該項(xiàng)目產(chǎn)品于2008年10月18日通過了新產(chǎn)品省級(jí)鑒定，專家們認(rèn)為，該項(xiàng)目研制的全自動(dòng)晶體生長爐達(dá)到了國內(nèi)領(lǐng)先水平，其中晶體直徑控制技術(shù)達(dá)到國際同類產(chǎn)品的先進(jìn)水平。

本項(xiàng)目研制的“TDR80A-全自動(dòng)晶體生長爐”產(chǎn)品

    項(xiàng)目在深入研究硅單晶生長工藝的基礎(chǔ)上，對(duì)拉晶全過程實(shí)行全自動(dòng)控制，使硅單晶產(chǎn)品的成品率達(dá)到國際先進(jìn)水平；開發(fā)的基于非完整圖像識(shí)別的高溫晶棒直徑測(cè)量和CCD圖像獲取熔態(tài)硅液面位置等兩項(xiàng)創(chuàng)新性關(guān)鍵技術(shù)，使1m長的單晶棒等徑誤差小于±1mm，達(dá)到國際同類產(chǎn)品的先進(jìn)水平。
   
    項(xiàng)目已獲授權(quán)的國家專利6項(xiàng)，其中發(fā)明專利3項(xiàng)。該項(xiàng)目的單晶爐控制軟件已獲國家版權(quán)局頒發(fā)的計(jì)算機(jī)軟件著作權(quán)登記證書。項(xiàng)目開發(fā)的具有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的全自動(dòng)單晶爐產(chǎn)品，填補(bǔ)了國內(nèi)空白，初步實(shí)現(xiàn)了工業(yè)化生產(chǎn)和推廣應(yīng)用，取得了良好的經(jīng)濟(jì)效益與社會(huì)效應(yīng)。
   
    項(xiàng)目由上虞晶盛機(jī)電工程有限公司、杭州慧翔電液技術(shù)開發(fā)有限公司、上虞市金輪機(jī)電工程有限公司以及杭州電子科技大學(xué)等單位參加完成。產(chǎn)品已廣泛地用于北京有研半導(dǎo)體材料股份公司、北京國泰半導(dǎo)體、浙江萬向硅峰公司、四川峨嵋半導(dǎo)體材料廠、江西LDK和天威英利等國內(nèi)著名的半導(dǎo)體材料制備企業(yè)和高端的太陽能材料公司。