單晶爐是直拉法制備硅單晶的關鍵技術裝備，所制備的硅單晶主要用于集成電路元件和太陽能電池。在我國，以單晶爐為代表的晶體生長設備一直存在核心技術不足的問題，高端產品均為國外公司所壟斷，在很大程度上制約了我國超大規(guī)模集成電路和太陽能產業(yè)的發(fā)展。西安理工大學與北京有色金屬研究院從2003年起承擔“TDR－150型單晶爐（12英寸MCZ綜合系統(tǒng)）”課題的研究和攻關任務，課題組組織多學科技術骨干，形成穩(wěn)定的攻關團隊，堅持走自主創(chuàng)新、集成創(chuàng)新的道路，經過三年多的攻關，取得了一系列創(chuàng)新性成果和關鍵技術。所研制的樣機由課題組自主攻關、設計和加工，關鍵部件和樣機達到了較高的技術水平，已成功拉制出12英寸無位錯合格單晶。通過項目的實施，課題組還建立了高端晶體生長設備的研發(fā)平臺，達到了積累經驗、獲取成果、培養(yǎng)隊伍的目的。

　　驗收會上，專家們認為該成果的取得填補了國內空白，標志著我國超大規(guī)模集成電路和太陽能產業(yè)的關鍵技術裝備的生產邁上了一個新臺階，對我國超大規(guī)模集成電路及相關產業(yè)的發(fā)展具有重要的意義。